VOCs廢氣處理有多種方法，不同的方法展示出了不同的特質，一些廠家對于處理效率要求較高，所以可能會選擇等離子方法，一些廠家要盡量的將廢氣中的固體顆粒物處理完全，則可能選擇光分解的方法，而一些企業(yè)對于廢氣處理要求本身較低，可以隨意選擇其中一種方法，只要處理費用低且處理效率滿足要求即可，那么VOCs廢氣處理具有哪幾種常見方法呢？
1、光分解法
光分解VOCs有多種形式，比如直接光照進行分解，分解的效率高但是分解并不徹底，另外就是在人工輔助的情況下進行分解，比如將其中添加個性化的催化劑。有研究表明有機氯化物和氟氯烴在紫外光照射下，兩種物質都能在極短的時間內分解，鹵代物的分解速度大于氟氯烴：三氯乙烯幾秒鐘內即能分解成氧氣、氯氣、氟氣等。光分解可產生中間產物，可通過氫氧化鈉溶液處理或延長滯留時間等手段進行VOCs廢氣處理。
2、等離子體分解法
VOCs廢氣處理的措施?較多，等離子體分解氯氟烴的技術已到實用階段，此技術可在短時間內進行大量的氯氟烴等氣體的處理。此VOCs廢氣處理過程采用多個系統，一系統利用高頻等離子體急速加熱，使溫度達到高溫，利用等離子體的化學作用與水蒸汽接觸進行分解；另外系統是將高溫分解的排氣急冷。該系統是由氯氟烴和水蒸汽的供給裝置、等離子體發(fā)生裝置、反應爐、冷卻罐以及排水處理裝置等構成。
3、微波催化氧化技術
VOCs廢氣處理費用低?，微波空氣凈化技術是由填料吸附、解吸技術發(fā)展而來，是將傳統解吸方式轉變?yōu)槲⒉ń馕⒉艿膽么蟠鬁p少了能量的消耗并縮短了解吸時間，而且VOCs廢氣處理吸附劑經多次解吸后基本上保持原有吸附能力。微波解吸技術對空氣的凈化基本上與其在水處理中的應用類似，VOCs廢氣處理解吸原理都可以用“容器加熱理論”和“體積加熱理論”加以解釋。
VOCs廢氣處理中并不能夠以效率或者是中間產物以及分解的完全性對于其進行單一的判斷，每個企業(yè)追求不同，有一部分企業(yè)無需追求徹底分解，對于京津冀的企業(yè)客戶而言環(huán)保力度較大，所以對于空氣污染物排放控制極為嚴格，這可能需要多種廢氣處理方法共同作用，所以各企業(yè)要斟酌自身實際情況而選擇個性化的廢氣處理方法。