隨著經濟的開展，電子技術的應用越來越普遍，VOCs廢氣處理不當會給環(huán)境形成嚴重的危害，關于廢氣的處置問題也日益嚴重。在電子行業(yè)中形成環(huán)境污染的有機廢氣產生于芯片或線路板消費的清洗、均膠、去膠、刻蝕、顯影等過程中。需要經過業(yè)內較好的VOCs廢氣處理后才能排放到大氣中。下面介紹一下VOCs廢氣處理的方式有哪些？
1、活性炭的脫附
VOCs廢氣處理通過催化熄滅的依據(jù)就是根據(jù)廢氣濃度的含量不同，脫附時間也不同?；钚蕴康拿摳竭^程都是在線脫附，就是當活性炭飽和后設備會自動進行脫附，不需要有人去經常查看，儉省了人工費用。VOCs廢氣處理中易使催化劑中毒的物質有焦油、油煙、粉塵、鉛化合物和硫、磷、鹵族元素的化合物等。
2、自熱均衡處理
VOCs廢氣處理有機廢氣時溫度高于起燃溫度，有機物含量較高。熱交流器回收局部凈化氣體產生的熱量，在正常運轉下無需補充熱量即可堅持熱均衡。通常VOCs廢氣處理是在催化熄滅反響器中進行只需要布置一個電加熱器來點火。為了堅持催化劑的活性，普通都采用前處置的方法，預先除掉有毒物質。
3、吸附催化熄滅
當有機廢氣流量大、濃度低、溫度低且催化熄滅需要大量燃料時，VOCs廢氣處理可經過吸附安裝吸附在吸附劑上進行濃縮，然后經過熱空氣吹掃將有機廢氣解吸成高濃度有機廢氣，然后進行催化熄滅。此時VOCs廢氣處理無需添加熱源即可維持正常運轉。就是脫附的時候并不是全部脫附，只要一個箱體在脫附，其他的箱體依然在工作。
總而言之，VOCs廢氣處理的方式有活性炭的脫附、自熱均衡處理、吸附催化熄滅。近幾年來，含稀土元素的鈣鈦礦構造的復合氧化物催化劑的研制在進步耐高溫性能等方面有所停頓，研制的稀土元素催化劑已用于信譽可靠的VOCs廢氣處理。